3D nanofabrication of fluidic components by corner lithography.
Berenschot EJ, Burouni N, Schurink B, van Honschoten JW, Sanders RG, Truckenmuller R, Jansen HV, Elwenspoek MC, van Apeldoorn AA, Tas NR.
Berenschot EJ, et al.
Small. 2012 Dec 21;8(24):3823-31. doi: 10.1002/smll.201201446. Epub 2012 Aug 21.
Small. 2012.
PMID: 22907803