Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors.
Song P, Ma Z, Ma J, Yang L, Wei J, Zhao Y, Zhang M, Yang F, Wang X.
Song P, et al. Among authors: yang f, yang l.
Micromachines (Basel). 2020 Jan 1;11(1):56. doi: 10.3390/mi11010056.
Micromachines (Basel). 2020.
PMID: 31906297
Free PMC article.
Review.