Selective area growth and stencil lithography for in situ fabricated quantum devices.
Schüffelgen P, Rosenbach D, Li C, Schmitt TW, Schleenvoigt M, Jalil AR, Schmitt S, Kölzer J, Wang M, Bennemann B, Parlak U, Kibkalo L, Trellenkamp S, Grap T, Meertens D, Luysberg M, Mussler G, Berenschot E, Tas N, Golubov AA, Brinkman A, Schäpers T, Grützmacher D.
Schüffelgen P, et al.
Nat Nanotechnol. 2019 Sep;14(9):825-831. doi: 10.1038/s41565-019-0506-y. Epub 2019 Jul 29.
Nat Nanotechnol. 2019.
PMID: 31358942