Focused particle beam-induced processing
Beilstein J Nanotechnol
.
2015 Sep 9:6:1883-5.
doi: 10.3762/bjnano.6.191.
eCollection 2015.
Authors
Michael Huth
1
,
Armin Gölzhäuser
2
Affiliations
1
Goethe Universität, Physikalisches Institut, Max-von-Laue-Str. 1, D-60438 Frankfurt am Main, Germany.
2
Universität Bielefeld, Fakultät für Physik, Universitätsstr. 25, D-33615 Bielefeld, Germany.
PMID:
26665058
PMCID:
PMC4660902
DOI:
10.3762/bjnano.6.191
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